【电子束参数】 电子光学系统Gemini1FE-SEM场发射扫描电镜二次电子分辨率0.9nm@15kV1.7nm@1kV加速电压0.02-30kV
扫描长度150mm（单次扫描，无需拼接）垂直测量范围0-1000μm台阶高度测量重复性4Å(0.10%)垂直分辨率0.01Å探针压
测量原理激光共聚焦/聚焦变化/白光干涉/分光干涉综合倍率范围42×-28,800×视野范围11-7398μm高度方向分辨率0.01
波长范围370-1000nm（可扩展至193-1690nm）测量技术旋转补偿器（RCE）专利技术入射角范围45°-90°自动变角同时采集波长数>
电子枪类型预对中钨灯丝电子枪二次电子分辨率4.0nm@20kV（高真空）15.0nm@1kV（高真空）反射电子分辨率5.0nm@20kV（低真空）加速电压0.3
Z方向噪声水平<30pmRMS（成像带宽625Hz）XY方向扫描范围90μm×90μm（三轴闭环）Z方向扫描范围10μmXY定位噪
