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量测 Hitachi FlexSEM 1000 II 扫描电子显微镜
电子枪类型预对中钨灯丝电子枪二次电子分辨率4.0nm@20kV（高真空）15.0nm@1kV（高真空）反射电子分辨率5.0nm@20kV（低真空）加速电压0.3
产品详情
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电子枪类型 |
预对中钨灯丝电子枪 |
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二次电子分辨率 |
4.0 nm @ 20 kV（高真空） |
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反射电子分辨率 |
5.0 nm @ 20 kV（低真空） |
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加速电压 |
0.3 kV - 20 kV |
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放大倍数（照片） |
×6 - ×300,000 |
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放大倍数（显示） |
×16 - ×800,000 |
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低真空范围 |
6 - 100 Pa（13级可调） |
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样品台 |
3轴马达驱动样品台 |
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X轴行程 |
0 - 50 mm |
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Y轴行程 |
0 - 40 mm |
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Z轴工作距离 |
5 - 33 mm |
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样品台旋转 |
360° |
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样品台倾斜 |
-15° - +90° |
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主机尺寸 |
450(W) × 795(D) × 690(H) mm |
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设计特点 |
紧凑型台式设计，宽幅仅45cm |