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量测 Zeiss Crossbeam 350 聚焦离子束双束系统
【电子束参数】 电子光学系统Gemini1FE-SEM场发射扫描电镜二次电子分辨率0.9nm@15kV1.7nm@1kV加速电压0.02-30kV
产品详情
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【电子束参数】 |
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电子光学系统 |
Gemini 1 FE-SEM 场发射扫描电镜 |
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二次电子分辨率 |
0.9 nm @ 15 kV |
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加速电压 |
0.02 - 30 kV（步长10V） |
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束流范围 |
5 pA - 20 nA |
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交叉点工作距离 |
5 mm |
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放大倍率 |
12× - 2,000,000× |
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【离子束参数】 |
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离子源类型 |
液态Ga离子源（LMIS） |
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离子束分辨率 |
3 nm |
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离子加速电压 |
0.5 - 30 kV |
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离子束流范围 |
1 pA - 100 nA（5个数量级） |
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【探测器配置】 |
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探测器类型 |
样品室二次电子探测器 |
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【功能特点】 |
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气体注入系统 |
最多5通道（沉积/刻蚀） |
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可变压力模式 |
支持不导电及不兼容高真空材料 |
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典型应用 |
TEM制样、截面分析、3D层析成像、纳米加工 |