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量测 J.A. Woollam M-2000 椭偏仪
波长范围370-1000nm（可扩展至193-1690nm）测量技术旋转补偿器（RCE）专利技术入射角范围45°-90°自动变角同时采集波长数>
产品详情
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波长范围 |
370 - 1000 nm（可扩展至193 - 1690 nm） |
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测量技术 |
旋转补偿器（RCE）专利技术 |
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入射角范围 |
45° - 90° 自动变角 |
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同时采集波长数 |
> 700 个波长（UV-VIS-NIR） |
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测量参数 |
Ψ (0-360°), Δ (0-90°), 透过率, 反射率 |
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厚度测量范围 |
10 nm - 10 μm |
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探测器 |
高速 CCD 探测器 |
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光斑尺寸 |
2-5 mm（聚焦光学可选 0.3×0.9 mm） |
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样品台 |
手动俯仰调节，四象限探测器辅助对准 |
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支持样品尺寸 |
8英寸及以下晶圆，碎片样品 |
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分析软件 |
CompleteEASE 数据采集与分析软件 |
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典型应用 |
薄膜厚度、折射率、消光系数、能带隙测量 |