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量测 Keyence VK-X3000 形状测量激光显微系统
测量原理激光共聚焦/聚焦变化/白光干涉/分光干涉综合倍率范围42×-28,800×视野范围11-7398μm高度方向分辨率0.01
产品详情
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测量原理 |
激光共聚焦 / 聚焦变化 / 白光干涉 / 分光干涉 |
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综合倍率范围 |
42× - 28,800× |
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视野范围 |
11 - 7398 μm |
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高度方向分辨率 |
0.01 nm |
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线性标尺精度 |
< 0.1 nm |
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最大扫描区域 |
50 × 50 mm |
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光源波长 |
< 404 nm（半导体激光） |
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物镜最高倍率 |
150× |
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观察工作距离 |
20.2 mm |
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扫描速度 |
最快125 Hz（面测量） |
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【测量功能】 |
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3D测量 |
轮廓测量、R角测量、体积/表面积测量 |
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2D测量 |
两点距离、平行线间距、角度测量 |
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拼接功能 |
2D & 3D 自动拼图 |
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适用材料 |
镜面体、透明体、金属、陶瓷、半导体等 |