产品中心
热门产品
量测 Bruker Dimension Icon 原子力显微镜
Z方向噪声水平<30pmRMS（成像带宽625Hz）XY方向扫描范围90μm×90μm（三轴闭环）Z方向扫描范围10μmXY定位噪
产品详情
|
Z方向噪声水平 |
< 30 pm RMS（成像带宽625Hz） |
|
XY方向扫描范围 |
90 μm × 90 μm（三轴闭环） |
|
Z方向扫描范围 |
10 μm |
|
XY定位噪声（闭环） |
< 0.15 nm RMS |
|
【扫描器配置】 |
|
|
扫描器类型 |
XYZ 三轴闭环扫描头 |
|
位置传感器 |
温度补偿型位置传感器 |
|
【工作模式】 |
|
|
成像模式 |
接触模式 / 轻敲模式 / 峰值力模式 |
|
高级模式 |
PeakForce Tapping®、ScanAsyst® |
|
【样品台】 |
|
|
样品台尺寸 |
210 mm 真空吸盘，可360°旋转 |
|
最大样品直径 |
≤ 210 mm（8英寸兼容） |
|
最大样品厚度 |
≤ 15 mm |
|
电动载物台行程 |
180 mm × 150 mm 可检测区域 |
|
定位重复性 |
2 μm（单向）/ 3 μm（双向） |
|
【光学系统】 |
|
|
光学相机 |
500万像素数字相机 |
|
光学放大倍率 |
300 - 1200 倍可调 |
|
光学最大视野 |
≥ 1400 μm × 1000 μm |
|
【典型应用】 |
|
|
应用领域 |
表面形貌表征、粗糙度分析、薄膜厚度 |