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量测 KLA Tencor P-7 探针式台阶仪
扫描长度150mm（单次扫描，无需拼接）垂直测量范围0-1000μm台阶高度测量重复性4Å(0.10%)垂直分辨率0.01Å探针压
产品详情
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扫描长度 |
150 mm（单次扫描，无需拼接） |
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垂直测量范围 |
0 - 1000 μm |
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台阶高度测量重复性 |
4 Å (0.10%) |
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垂直分辨率 |
0.01 Å |
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探针压力范围 |
0.03 - 50 mg（闭环恒力控制） |
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最大数据采样点 |
2,000,000 点/扫描 |
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传感器类型 |
UltraLite® 传感器（动态力控制） |
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样品台 |
全自动电动载物台，带自动旋转功能 |
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样品定位重复性 |
±2 μm |
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光学系统 |
5 MP 高分辨率彩色相机 |
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弧形校正 |
可消除探针弧形运动引起的误差 |
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晶圆卡盘 |
200 mm 真空吸盘半导体晶圆卡盘 |
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测量功能 |
台阶高度、粗糙度、翘曲度、应力（2D/3D） |
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软件功能 |
自动测序、图形识别、SECS/GEM 通信 |
应用案例：
图：台阶仪探针扫描测量的2D表面轮廓曲线示意