依托激光直写光刻工艺加工，搭配金属蒸镀与剥离工艺，在 6 英寸硫化锌晶圆上制备多样化金属谐振超表面结构。可实现十字环、八角环、Y 型、纳米圆盘等各类等离激元单元阵列，光刻胶厚度稳定控制在 470 nm。依靠金属微结构的局域表面等离激元共振效应，实现光场调控、光谱吸收、偏振响应等功能。

✅ 产品特点 

・丰富单元构型可选，支持各类共振结构定制设计

・金属图形边缘规整，有效降低光学损耗

・光刻胶厚度精准可控，金属剥离工艺稳定性强

・硫化锌红外适配基底，覆盖可见光至红外波段

・大面积周期阵列均匀性良好

✅ 技术优势 

・激光直写无掩膜加工，快速完成方案迭代打样

・支持 6 英寸大尺寸晶圆批量制备

・光刻、蒸镀、剥离一体化完整工艺链路

・兼容多种光学基底材料

・周期、单元尺寸、排布方式可完全自定义

✅ 应用场景 SERS 生物传感基底、红外等离激元光电探测器、偏振调控超表面、窄带光学滤波器件、光热辐射调控芯片、非线性光子学研究、光谱成像器件。