产品详情
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样品尺寸 8inch及以下
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6inch及以下
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Table TEMP
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-20~40℃
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SRF Power
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0-2200W
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LRF Power
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0-600W
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工艺气体 |
O2、Ar、SF6、C4F8、CF4、CHF3、H2
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可刻蚀材料 |
硅、氧化硅、氮化硅、碳化硅、石墨烯、聚酰亚胺、聚四氟乙烯等
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刻蚀速率 |
＞300m/min（SiO2） |
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刻蚀均匀性 |
≤5% |
