产品详情
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样品尺寸 8inch及以下
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8inch及以下
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Table TEMP
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-20~40℃
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SRF Power
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0-2500W
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LRF Power
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0-600W
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工艺气体 |
O2、Ar、HBr、 BCl3、Cl2
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可刻蚀材料 |
磷化铟、铌酸锂、氮化钛（6inch） GaAs、GaN、AlGaN、Ga2O3（8inch）
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刻蚀速率 |
＞200m/min |
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刻蚀均匀性 |
≤5% |
