产品详情
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样品尺寸 8inch及以下
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8inch及以下
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Table TEMP
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-20~40℃
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SRF Power
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400-2500W
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LRF Power
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0-200W
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工艺气体 |
O2、Ar、SF6、C4F8、CF4
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可刻蚀材料 |
Si、SiO2、SiN等
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刻蚀选择比
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＞50：1
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刻蚀速率 |
＞8μm/min |
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刻蚀均匀性 |
≤5% |
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侧壁粗造度 |
≤50nm |
