制造业的发展，目前对加工精度的的要求越来越高，微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止，微纳技术在国防军工及民用产品已经得到广泛应用，特别体现在纳米级机械加工、电子束、LIGA技术和扫描隧道显微加工技术、看离子束加工等领域，应用十分广泛。
