纳米压印(NIL)技术介绍
发布时间:2026-04-26 来源:矢量芯光 浏览次数:9

什么是纳米压印技术?
纳米压印光刻 (NIL) 是一种利用带有微纳结构图案的模板,将图案转移到相应衬底上制作出纳米级图案的微纳加工工艺,转移的介质通常是一层很薄的聚合物膜,是加工聚合物结构最常用的加工方法。拥有成本低、工期短、产量高、分辨率高等优点。

成熟且常用的纳米压印技术工艺主要有:纳米热压印(T-NIL) 技术、紫外光固化压印( UV-NIL) 技术和微接触印刷( μCP)。
纳米压印原理
纳米压印过程中主要包含三个步骤:1、图形模板制备    2、图形复制    3、图形转移

在硅或其他衬底上预先附上聚合物涂层(例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚碳酸酯等)作为基体,将已刻有纳米图案的模板通过相应的设备和器具配合,与基体接触并进行精确压印定型,经过一定的条件(例如时间、压力、温度、光照等)后,将模板与基体分离,这样便能实现图形的复制,使模板表面的纳米结构图案转移到基体表面的聚合物涂层上。随后,采用刻蚀技术或剥离技术,将聚合物涂层上的纳米结构图案转移到基体上,实现纳米结构图案的转移。